中圖儀器SJ6000機床測量用激光干涉儀測量過程全自動化，效率高,。儀器集光、機,、電、計算機等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,。

測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

對機床精度再校準(zhǔn)

三坐標(biāo)測量機示值誤差測量

測量軟件

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

SJ6000機床測量用激光干涉儀的系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。